Präzisionskontaktsensoren: Zunächst unterscheidet sich die Definition von Präzision je nach Branche. Zu den wichtigsten Konzepten gehören Genauigkeit, Auflösung und Wiederholbarkeit. Genauigkeit wird auch als Linearität oder absoluter Fehler bezeichnet. Bezieht sich auf die maximale Abweichung des Sensorwerts vom theoretischen wahren Wert. Auflösung bezieht sich auf die minimale Positionsänderung, die erforderlich ist, um eine Änderung im Sensorausgang zu erzeugen. Wiederholbarkeit bezieht sich auf die Variation der Messwerte bei wiederholter Messung derselben Position. Hochwertige kapazitive Wegaufnehmer können eine Genauigkeit im Nanometerbereich erreichen. Die Auflösung ist noch kleiner, und die Wiederholbarkeit hängt weitgehend davon ab, ob der Sensor über eine gute Temperaturkompensation und eine stabile Umgebung verfügt. Zu den international führenden Herstellern von kapazitiven Sensoren gehören die deutsche Firma Micro-Epsilon und das amerikanische Unternehmen MTI, deren Preise natürlich entsprechend höher sind. In Bereichen, die wirklich ultrahohe Leistung erfordern, wie die Messung von Präzisionsteilen oder die Bewegung von Präzisionsmechanismen (z. B. Lithografie-Maschinenpositionierung), sollten hochwertige Sensoren verwendet werden.