Konfokaler Wegmesssensor verwenden das Prinzip von spektralen konfokalen Sensoren. Weißlicht wird als Messmedium verwendet. Im Vergleich zu gekrümmten Oberflächen erhöht sich der Reflexionswinkel des Lichtstifts um 45°, wodurch die Kontur von weißem transparentem Klebstoff perfekt gemessen werden kann. Unterschiedliche Tiefen des Messobjekts reflektieren Licht unterschiedlicher Farben, wodurch der Abstand und die Verschiebung zwischen der Sonde und der Oberfläche des Messobjekts gemessen werden können. Es eignet sich besonders gut zur Messung von vollreflektierenden Oberflächen wie Spiegeln, da im Gegensatz zu Laser-Triangulationsreflexionssensoren die Lichtquelle senkrecht auf das Messobjekt trifft und das reflektierte Licht senkrecht zur Sonde zurückkehrt. Triangulationsreflexionssensoren eignen sich besser für die Messung von diffus reflektierenden Oberflächen. Die Verwendung von spektraler konfokaler Messtechnik ermöglicht eine ultrahohe Auflösung. Die Nanometer-Auflösung ergibt sich aus dem durch spezielle Behandlung erweiterten spektralen Bereich. Durch die Verwendung der Farbe des Fokus zur Abstandsmessung können spektrale konfokale Sensoren sehr kleine Messpunkte verwenden, wodurch die Messung sehr kleiner Objekte ermöglicht wird. Dies bedeutet auch, dass selbst sehr feine Kratzer auf der Oberfläche des Messobjekts von spektralen konfokalen Sensoren erkannt werden können.